半導(dǎo)體組裝和封裝過程中選擇的質(zhì)量檢查方法通常主要包括目視檢查,飛針測試,針床測試,自動光學(xué)測試和功能測試等。但是,隨著封裝技術(shù)的不斷發(fā)展,傳統(tǒng)的檢測方法長期以來無法滿足各種先進包裝設(shè)備的測試要求。以半導(dǎo)體芯片封裝為例,CSP的種類越來越多,包括柔性封裝,剛性基板,引線框架,網(wǎng)格引線和微成型CSP等。不同的CSP結(jié)構(gòu)的技術(shù)也不同,但是它們基本上基于倒裝芯片鍵合(FCB)和球柵陣列(BGA)的兩種技術(shù)。
首先,倒裝芯片焊接技術(shù)主要具有三種電連接方法:焊球凸點法,熱壓焊接法和導(dǎo)電膠粘接法。無論采用哪種方法,凹凸連接在包裝過程中都是不可見的。此外,在包裝過程中,焊盤長時間暴露在空氣中很容易引起氧化,并且所有連接點都可能在連接焊點處出現(xiàn)裂紋,無連接,焊點空隙,導(dǎo)線和導(dǎo)線過多壓力焊接缺陷,模具和連接界面缺陷等。另外,在封裝過程中,硅晶片也可能由于壓力而引起微裂紋,并且通過導(dǎo)電粘合劑連接的膠在封裝過程中也可能導(dǎo)致氣泡。這些問題將不利地影響集成電路的封裝質(zhì)量。
通常,如果這些表面缺陷不可見,則無法通過傳統(tǒng)檢測技術(shù)進行區(qū)分,并且傳統(tǒng)的電氣功能測試需要對測試目標的功能有清晰的了解,并且要求測試技術(shù)人員非常專業(yè),此外,電功能測試設(shè)備復(fù)雜,測試成本高,測試的有效性取決于測試人員的技術(shù)實力,這給集成電路的封裝和測試帶來了新的困難。
因此,為了有效解決2D和3D封裝等工藝中的內(nèi)部缺陷檢測問題,出現(xiàn)了將X射線檢查技術(shù)應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝和測試工藝的方法,與上述測試方法相比,具有更多的優(yōu)勢。為了提高“一次合格率”并實現(xiàn)“零缺陷”的總體目標,X-ray檢測提供了更為有效的排查方法。
LX2000是日聯(lián)科技生產(chǎn)的針對半導(dǎo)體封裝測試的專業(yè)智能檢測裝備。這種X射線實時成像設(shè)備可以很好地滿足半導(dǎo)體測試的要求。 LX2000是一種新型的在線X射線檢查系統(tǒng),具有檢查面積大,分辨率高和放大倍數(shù)高的特點。該系統(tǒng)以封閉射線源和平板探測器為核心組件,具有良好的探測效果,可以有效地探測封裝,焊點,插件等。
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