一臺成熟的X光檢測設備,主要由X射線管、X光探測器、輔助運動機構以及防護設備、軟件這幾大部分組成。其中,X射線管是X光檢測設備的心臟,對于各種X射線檢查裝置,X射線管是其中最重要的部分。目前,X射線管可分為兩類:開管和閉管,即開放式射線源和封閉式射線源。兩種管之間的特征比較如表所示。
類型
功能 |
開管 |
閉管 |
分辨率 |
≤1μm |
≥1μm |
管電壓 |
≥160KV |
<160KV |
放大倍率 |
高 |
低 |
燈絲壽命 |
300-800小時 |
大約10,000小時 |
系統維護成本 |
燈絲/設備維護;需要專業真空泵抽真空。 |
不需要 |
在選擇X射線管的類型時,必須考慮一些因素:
1、X射線管類型:開管或閉管。此類型與檢查設備的分辨率和壽命相關。分辨率越高,用戶看到的細節就越復雜。如果檢查的目標是大規模的,那么當您選擇分辨率相對較低的設備時無關緊要。但是,就BGA和CSP而言,需要2μm或更小的分辨率。
2、目標類型:穿透或反射。目標類型在影響樣品與X射線管焦點之間的距離方面起作用,最終影響檢測設備的放大時間。
3、X射線電壓和功率。 X射線管的穿透能力與電壓成正比。當電壓較大時,可以檢查具有較高密度和厚度的物體。當被檢查的目標是單面板時,可以選擇具有低電壓的器件。然而,當被檢查的目標是多層板時,需要高電壓。對于一定的電壓,圖像清晰度與X射線管功率成正比。
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